天猫正版芯片制造半导体工艺制程实用教程 第六版 彼得·范·赞特 图化薄膜工艺尖端技术 本研教材书籍 电子工业出版社
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《正版芯片制造：半导体工艺制程实用教程（第六版）》由彼得·范·赞特（Peter Van Zant）著，电子工业出版社出版，是半导体制造领域的权威教材。本书系统介绍了从硅片制备到集成电路成型的完整工艺流程，重点涵盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂与清洗等核心技术。第六版新增对先进节点（如FinFET、EUV光刻）及图化薄膜工艺等尖端技术的深入解析，结合大量图表与实例，内容兼具理论深度与实践指导价值。适合作为微电子、集成电路相关专业研究生及产业工程师的参考书，助力读者掌握现代芯片制造的核心技能与前沿发展趋势。
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