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天猫正版芯片制造半导体工艺制程实用教程 第六版 彼得·范·赞特 图化薄膜工艺尖端技术 本研教材书籍 电子工业出版社

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商品介绍

《正版芯片制造:半导体工艺制程实用教程(第六版)》由彼得·范·赞特(Peter Van Zant)著,电子工业出版社出版,是半导体制造领域的权威教材。本书系统介绍了从硅片制备到集成电路成型的完整工艺流程,重点涵盖光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂与清洗等核心技术。第六版新增对先进节点(如FinFET、EUV光刻)及图化薄膜工艺等尖端技术的深入解析,结合大量图表与实例,内容兼具理论深度与实践指导价值。适合作为微电子、集成电路相关专业研究生及产业工程师的参考书,助力读者掌握现代芯片制造的核心技能与前沿发展趋势。

正版芯片制造半导体工艺制程实用教程 第六版 彼得·范·赞特 图化薄膜工艺尖端技术 本研教材书籍 电子工业出版社