天猫正版集成电路制造技术 原理与工艺 第3版 田丽 电子工业出版社 工程和信息部规划教材 电路制造教材教程书籍

《正版集成电路制造技术原理与工艺（第3版）》由田丽编著，电子工业出版社出版，是工程与信息类规划教材之一。本书系统阐述了集成电路制造的基本原理、关键工艺及最新技术进展，涵盖硅片制备、光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂、互连及封装等核心环节。内容深入浅出，理论与实践结合紧密，配有丰富的图表与实例，便于理解与掌握。适合作为高等院校微电子、电子信息、集成电路等相关专业的教材，也可供从事半导体工艺研发与生产的工程技术人员参考。本书紧跟行业发展趋势，注重知识体系的完整性与实用性，是学习集成电路制造工艺的权威教程。