天猫正版半导体工艺与集成电路制造技术 韩郑生 科学出版社

《正版半导体工艺与集成电路制造技术》由韩郑生编著，科学出版社出版，是一本系统介绍半导体制造工艺与集成电路制造技术的权威教材。全书内容涵盖硅片制备、光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂、化学机械抛光等关键工艺环节，结合先进制程发展趋势，深入讲解现代集成电路制造的核心原理与工艺流程。书中注重理论与实践结合，配有大量图示与实例，便于读者理解复杂工艺细节。该书适用于微电子、集成电路工程及相关专业本科生、研究生教学，也可供半导体行业技术人员参考，是掌握集成电路制造技术的必备读物，具有较高的学术价值与工程应用价值。